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                專家分析壓力傳感器的發展趨勢


                東莞市南力測控設備有限公司推出新產品:壓力開關壓力變送器壓力傳感器稱重←傳感器液位傳感器如有意向購買者請致電:0769-88119598

                  由於該技術是平面工藝與立體加工相結合,又便№於集成化,所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等。

                  壓力傳感器已成為各類傳感器中技術最成熟、性能最穩定、性價比最高的一類傳感器,因此對於從事★現代測量與自動控制專業的技術人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現狀和發展趨勢,在各類傳感器∮中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便於▃集成化的優點,可廣泛用於壓力≡、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。除此以外,還廣泛應用於水利、地質、氣象、化工、醫療衛生等方面◥。

                  傳感器技術是現代測量和自動化系統的重要技⊙術之一,從宇宙開發到海底探秘,從生產的過程控制到現代文明生活,幾乎每一項〒技術都離不開傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術的發展十分重視,如日本把傳感器技術列為六大核心技術(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。

                  現代壓力傳感器以半導體傳感♀器的發明為標誌◆,而半導體傳感器的發展可以分為四個階段: 發明階段半導體材料的這一特↘性得到較廣泛應用,技術發展階段隨著矽擴散技術的發展,這種形式〇的矽杯壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便於集成化的優點,實現了金屬- 矽共晶體,為商▲業化發展提供了可能。

                  商業化々集成加工階段在矽杯擴散理論的基礎上應用了矽的各向異性的腐蝕技術,擴散矽傳感器其加工工藝以矽的各項異性腐蝕技術為主,發展成為可以自『動控制矽膜厚度的矽各向異性加工技術,主要有V 形槽法、濃硼自動中︼止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。

                  由於可以在多個表面同時進行腐蝕,數千〓個矽壓力膜可以同時生產,壓力傳感器實現了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低,微機械加工階段上世紀末出現的納米技術,使得微機械加工工藝╱成為可能,通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級範圍內,利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進入了微米階段。

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